定制慣性傳感器

定制化生產(chǎn)高精度微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）慣性傳感器
日前，F(xiàn)irst Sensor集團(tuán)宣布其高精度硅電容式慣性傳感器順利通過認(rèn)證，計(jì)劃于2017年4月投入批量生產(chǎn)。此種用于測量傾角、加速度和振動(dòng)的傳感器由多個(gè)部件組成，其中包括根據(jù)已獲磚利的微機(jī)械技術(shù)（高寬比微結(jié)構(gòu)（HARMS）與氣隙絕緣微結(jié)構(gòu)（AIM））制造的硅傳感器元件以及集成至密閉型表面貼裝器件（SMD）殼體內(nèi)的專用集成電路信號處理元件。根據(jù)帶寬不同，慣性傳感器的分辨率*高可達(dá)10μg或0.0005°（2角秒），且可適配客戶不同應(yīng)用領(lǐng)域的機(jī)械和電氣要求。此外，F(xiàn)irst Sensor集團(tuán)還提供評估套件，可用于方便快捷地評價(jià)和配置傳感器。

相比市場上現(xiàn)有其他設(shè)備，F(xiàn)irst Sensor的高精度慣性傳感器具有**的性能特點(diǎn)和優(yōu)良性價(jià)比。得益于高寬比微結(jié)構(gòu)（HARMS），該系列無涂覆單晶硅微結(jié)構(gòu)具有極低交叉軸靈敏度，能夠?qū)崿F(xiàn)高信噪比和優(yōu)異的溫度穩(wěn)定性。此外，已獲磚利的高柔性AIM（氣隙絕緣微結(jié)構(gòu)）技術(shù)通過氣隙對組件進(jìn)行隔離，從而*大限度減小寄生電容。傾角計(jì)能夠在10Hz測量頻率下提供±30°的測量范圍，可實(shí)現(xiàn)小于0.0004°/√Hz的噪聲密度與小于0.0015°的分辨率。First Sensor的加速度計(jì)提供±3g、±8g和±15g測量范圍可選，能夠在10Hz測量頻率下實(shí)現(xiàn)小于30μg/√Hz的噪聲密度與小于40μg至95μg的分辨率。

• 已獲磚利的微機(jī)電系統(tǒng)微機(jī)械傳感器元件（HARMS和AIM）
• 搭載數(shù)字輸出信號的可配置型專用集成電路信號處理元件
• 高信噪比，分辨率可達(dá)10μg或0.0005°（2角秒）
• 可根據(jù)客戶的個(gè)性化應(yīng)用需求靈活定制

First Sensor的新型高精度傾角儀和加速度計(jì)可廣泛用于工業(yè)、航空、建筑和醫(yī)療技術(shù)等領(lǐng)域。典型應(yīng)用領(lǐng)域包括地質(zhì)工程、狀態(tài)監(jiān)測、慣性導(dǎo)航系統(tǒng)、機(jī)器人、準(zhǔn)直及調(diào)平等。