微橋質(zhì)量氣流傳感器通過測量從加熱器電阻器到位于加熱器兩側(cè)的溫度感應(yīng)電阻器的相對熱量傳遞速率來進行操作。傳熱與質(zhì)量流量成正比。如果介質(zhì)的熱特性發(fā)生變化，則會發(fā)生傳感器靈敏度（熱效率）的偏移。主要因素是被測氣體的熱導(dǎo)率。另外，熱容和氣體粘度引起的影響較小。對于給定的氣體，熱容和氣體粘度是常數(shù)。但是，如果氣體成分發(fā)生變化，這些特性也會發(fā)生變化。幸運的是，空氣，氮氣和氧氣具有幾乎相同的特性。
空氣中0.5％的氬（Ar）并不顯著，溫度低于40°C（104°F）時相對濕度從0至99％也不重要。溫度超過40°C（104°F）時，濕度為100％，則表明超過1％的大氣層是水。這可能會導(dǎo)致傳感器輸出的明顯增加。與氬氣和100％濕度的實際偏差是相反的，并且在溫度低于40°C（104°F）時，可能會部分相互抵消。
一氧化碳（CO）和一氧化氮（NO）具有與空氣相似的特性。 與空氣相比，二氧化碳（CO2）的靈敏度會提高（大約135％，這可能會隨流速而變化）。 類似于CO2的氣體是一氧化二氮（N2O）和二氧化氮（NO2）。 氦具有很高的熱導(dǎo)率，除非電源電壓增加到15 VDC *，否則它將使傳感器上的加熱器控制電路飽和。 然后將氦氣的敏感性降低到兩升氦氣產(chǎn)生的質(zhì)量相當于一升（1,000 sccm）空氣或氮氣流量的程度。 校正因子將取決于溫度和實際的低速率。
